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阴极发射特性研究系统

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包括阴极除气设备、阴极分析设备和阴极储存设备等高效真空系统 全程控工艺过程

阴极预处理台

用于阴极预处理

极限真空度3 * 10-5Pa

全程控工艺过程

多工位可多达14个

高频除气台

用于阴极除气

石英钟罩式除气工位口,利于观察测温,方便装卸工件

极限真空度3*10-4Pa

全程控工艺过程

2~3个工位

阴极发射特性研究系统

用于研究阴极表面发射特性

极限真空度:5*10-8Pa

可移动阴极,精确的传动和定位系统

专用工艺软件,可三维测量发射特性

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