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阴极预处理台

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主要用途:用于高真空条件下阴极加热预处理工序;

主要用户:真空电子技术行业各科研院所
主要组成:超高真空系统、烘箱加热系统、升降系统、工控机、工艺处理电源等;
主要技术指标:
工位数:~14工位
极限真空度:10-5~10-7Pa
最高加热温度:600℃
最大升降距离:650mm

控制方式:程控


安装条件:

总电源:380V  50Hz  15kw
冷却水:水压0.2MPa
水流量:0.5m3/hr

制造周期:6个月


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