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真空炉

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主要用途:用于高真空条件下器件的钎焊、除气等热处理工序;
主要用户:电子、航空航天及半导体等行业各科研院所和高校
主要组成:真空系统、加热系统、升降系统、电控系统等;

主要技术指标:

极限真空度:10-3~10-5Pa
最高加热温度:1200℃
最大升降距离:700mm

安装条件:

总电源:380V/50Hz/40kw
冷却水:水压0.2MPa
水流量:2m3/hr
制造周期:4个月

详细技术规格:

序号
配置
参数
备注
1
真空室尺寸
有效空间
工件盘直径:Φ250
加热器形式:钼带
2
系统真空泵配置
分子泵+旋片泵
3
系统阀门(选配)
VAT/MDC/HVA
国产
闸板阀
4
钟罩升降高度(mm)
500~700
机械升降/液压升降
5
控制方式(选配)
手动//PLC
6
充气系统(选配)

充气阀门等





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